FPD・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックHPTSの設計開発

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展示会情報
①2016年8月31日~9月3日 Taipei
The Bose Robot Show in Taiwan TWTC Nangang Exhibition Hall 1F
②2016年9月1日
北関東3県技術展示商談会 in NISSAN 栃木県マロニエプラザ
③2016年9月6日~9月6日 CHINA
CHINA INTERNATIONAL OPTOELECTRONIC EXPO Shenzhen Convention & Exhibition Center
④2016年9月14日~9月16日
MEMS SENSING & NETWORK SYSTEM パシフィコ横浜

2016年8月 サポーター関連情報更新。
2015年9月 筑波精工株式会社のホームページをリニューアルしました。

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静電チャックとは、電圧を印加し電極と対象物間に発生したクーロン力によって、吸着するツールです。
筑波精工のHPTSは、最も低電圧で高吸着を実現した静電チャックです。

筑波精工では、独自の静電チャック技術を応用した、FPDや半導体製造の最先端技術の現場で使用するツールの設計・開発を行っております。

LinkIcon静電チャックとは製品一覧

静電チャックHPTSの吸着、固定、搬送用ステージ、ハンドの使用例

使用例01.psd
ガラス基板

使用例02.psd
半導体ウェハー

使用例03.psd
フィルム 紙等の薄物

使用例04.psd
FPC 金属フレーム基板 セラミック

使用例05.psd
DVD等

上記以外にも、表面に凸凹のあるものや、多孔質・通気性のあるものも吸着可能です。真空環境下での使用も可能です。

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