CordlessHolder(內藏電池驅動)
用sputtering成膜小型部品 ，晶圓 ，玻璃基板時 很容易固定被吸物體。
適於成膜裝置及其in-Line設備的電源內藏式E-chuck。
用筑波精工獨自的技術，使被吸物體不受負擔，容易固定。
可做固定，Tray來用。
3個小時的充電可用15個小時。
更換電極表面的薄膜，半永久性使用。
產品業績
○ 小型產品的成膜裝置。
○ FPD 玻璃基板 成膜Stage，Tray。
● 更換薄膜，可以吸附小面積的被吸物體，可半永久性使用。
● 更換薄膜，簡單。
● 可以使用15個小時以上。（充電式）
構 成 |
控制器內藏式Holder
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吸附，脫離，控制， |
電氣控制
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吸着形態 |
電源內藏式，可連續使用15小時（3小時充電）
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動作環境 |
大気〜真空
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吸着対象 |
導体〜半導体〜絶縁体
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保持力 |
120gf/平方cm（surface direction）
360gf/平方cm（vertical direction）
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E-mail:e-eigyo@tsukubaseiko.co.jp