
2011年10月 更新了網頁。
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吸著原理:於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力。
筑波精工的E-chuck HPTS實現了低電壓,強吸附力。
筑波精工應用獨自的電場設計技術進行對FPD,半導體
製造過程中所需的最先端E_chuck的設計與開發。
什麼叫E-chuck|製品介紹
E-chuck的使用例
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玻璃基板的移動
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半導體晶片的移動
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各種薄膜,紙的移動
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基板的搬運
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DVD的搬運
除上述還可以吸附表面凹凸不平,多空,有透氣性的物體。可以使用在真空環境裡。





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