設計開發應用於FPD，最先端半導體製造技術的E-chuckHPTS。
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製品概要｜製品特徴｜製品仕様
點接觸 Wafer Hand 適合搬送變形,彎曲的晶圓. 以庫倫力保持點接觸,適合搬運. 可以實現真空環境下的高速搬送. 點接觸,接觸面積控制到最小限度.
○ 晶圓,矽晶圓,複合晶圓的搬送
● 在真空環境下可以穩定吸附變形,彎曲的晶圓. ● 可以使用在大氣,真空的環境裡. ● 以點接觸實現與被吸物體的接觸面積控製到最小限度.
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