コードレスホルダー（バッテリー駆動）
小型部品、ウェハー、ガラス基板の成膜時のスパッタリング時の固定方法にお困りの方はぜひご相談ください。
成膜装置、インライン設備向けのコードレス静電チャックです。
筑波精工独自の静電チャックHPTS技術により、対象物にストレスをかけることなく、対象物の固定が可能で、ステージおよびトレイとしてご使用いただけます。
約3時間の充電で、15時間の使用が可能です。
また、張替えシートの交換で半永久的に使用が可能です。
導入実績
○ 小型部品 成膜装置内 ステージ
○ FPD 硝子基板 成膜装置 ステージ トレイ
● ワークチャック面より小さくても、表面シート張替えにより
半永久的にご使用いただけます。
● 交換用の表面保護シートは、作業者でも容易に交換が可能です。
● コードレスで、15時間以上ご使用いただけます。（充電式）
構 成 |
コントローラー内蔵式ホルダー
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吸着・離脱・制御 |
電気制御
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吸着形態 |
コードレス 15時間使用（3時間充電）
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動作環境 |
大気〜真空
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吸着対象 |
導体〜半導体〜絶縁体
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保持力 |
120gf/平方cm（surface direction）
360gf/平方cm（vertical direction）
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E-mail:e-eigyo@tsukubaseiko.co.jp