静電チャックとは、電極に電圧を印加すると、電極と対象物間に発生した力によって、対象物を吸着するツールです。
吸着方式の違いによって、誘電体として絶縁材料を使用するクーロン力型と、対象物と誘電体との界面の小さなギャップに微少電流が流れ、帯電分極して誘起されるジョンソン・ラベック力型があります。
弊社静電チャックＨＰＴＳとは？
クーロン力を用いた静電チャックです。
電極に電圧を印加することで、対象物の表面には逆電圧が誘導され、安定した、吸着を実現します。
ＨＰＴＳはクーロン力を用いた静電チャックの中で、最も低電圧で高吸着力を発揮する、静電チャックです。
吸着力が弱いとされる絶縁体も、安定した吸着力を発揮します。
また、対象物裏面には、電界は到達しない為、裏面(例えばTFT回路）への影響が全くありません。
1. 対象物全面に対して均一な作用力⇒ 薄いワーク吸着に最適
2. 広範囲な対象物：導体～半導体～絶縁体(素ガラス基板吸着出来ます）
3. 対象物裏面には、電界は到達しない為、裏面(TFT回路など）に対する影響が全くありません。
4. 多孔質材など孔の開いたワーク吸着が可能。
5. 対象物へ圧痕や傷、孔の転写などが発生しません。
6. 積層対象物から最上層の一枚のみを吸着⇒ 複数枚同時吸取防止
7. 真空環境下でも安定した吸着力。
8. これまでの静電チャックに比べ、低電圧で強い吸着力発揮します。
E-mail:e-eigyo@tsukubaseiko.co.jp