製品一覧 | 筑波精工株式会社

FPD・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックHPTSの設計開発

Please select your language.

製品案内イメージ.jpg

様々な場所でHPTSが利用されています.jpg

HPTSは様々な設備、生産現場、研究所様にてご採用いただいております。

液晶パネル、有機EL、
タッチパネル、半導体ウェハー、
ソーラーウェハー、HDD、
プリント基板、燃料電池、
印刷機など

貼り合せ装置ステージ
蒸着装置用ステージ
露光装置用ステージ
検査装置用ステージ
移載ハンド、印刷機ステージ
塗布装置ステージ、
その他各種自動機ハンド及びステージ

ガラス基板、シリコンウェハー、
化合物ウェハー、銅箔、フィルム、
プリント基板、FPCシート、
フィルター、導体フィルム、
絶縁体フィルム、紙、
セラミックシート

使用例01.psd
硝子基板搬送

使用例02.psd
半導体ウェハー搬送

使用例03.psd
各種フィルム、紙の搬送

使用例04.psd
基板の搬送

使用例05.psd
DVD等の搬送

上記以外にも、表面に凸凹のあるものや、多孔質・通気性のあるものも吸着可能です。真空環境下での使用も可能です。

製品一覧.jpg

ティンハンド.jpg
自動機搭載用静電チャック
ティンハンド
自動機搭載用静電チャックです。


LinkIcon詳しくはこちら

コードレスホルダー.jpg
バッテリー駆動
コードレスホルダー
成膜装置、インライン設備向けコードレスタイプ静電チャック。

LinkIcon詳しくはこちら

ウェハーサポーター.JPG
薄部材 補強板
ウェハーサポーター
ウェハー、箔などの補強板として使用可能です。

LinkIcon詳しくはこちら

ウェハーハンド拡大図-1.jpg
点接触でストレスを最小限に
ウェハーハンド
真空環境下でも安定した搬送を実現する点接触型ウェハーハンド。

LinkIcon詳しくはこちら

紙送りベルト.JPG
繰り出し静電ベルト
静電ベルト
紙、紙幣等、厚みや表面状態に依存しない繰り出しが可能です。

LinkIcon詳しくはこちら

コードレスソフトパーム.JPG
ハンディタイプ静電チャック
ソフトパーム
ハンディ静電チャックです。


LinkIcon詳しくはこちら

製品案内バナー.jpg静電チャックとは.jpg

会社概要バナー.jpgお問合せフォームバナー.jpg