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2011年10月　筑波精工株式会社のホームページをリニューアルしました。

静電チャックとは、電極に電圧を印加し電極と対象物間に発生した力によって、対象物を吸着するツールです。
筑波精工の静電チャックHPTSは、クーロンを用いた最も低電圧で高吸着を実現した静電チャックです。

筑波精工では、独自の静電チャック技術を応用した、FPDや半導体製造の最先端技術の現場で使用するツールの設計・開発を行っております。

静電チャックとは｜製品一覧

上記以外にも、表面に凸凹のあるものや、多孔質・通気性のあるものも吸着可能です。真空環境下での使用も可能です。