ハンディタイプ静電チャック
ソフトパーム
薄型化するウェハー、ガラス基板、フィルムなどの搬送にはソフトパームが最適です。
接触吸着タイプのハンディ静電チャックです。電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動コード付きタイプがあります。
コードレスタイプ（充電式、電池使用可）は、いつでもどこでも使えて便利です。
コードレスソフトパーム
コード付きソフトパーム（専用コントローラ）
● 接触面全面に均等に支持力を分散するために、従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消しました。
● 凸凹面のある対象物も吸着可能です。
● 対象物裏面電位は最小は抑えられ裏面へのゴミ吸着はありません。
● コードレス、小型で携帯型。
対象物 |
導体〜半導体〜絶縁体
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印加圧力 |
コードレスタイプ 電圧可変（0.3、0.5、0.7、0.9、1.0kV）
コード付きタイプ 1kV
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把持力 |
印加電圧：1kV 40gf/平方cm（導体/半導体）
印加電圧：1kV 20gf/平方cm（LCDガラス基板）
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電源 |
コードレスタイプ 充電式/単4乾電池3本
コード付きタイプ AC100V 50/60Hz
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連続使用時間 |
コードレスタイプ 8時間以上
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E-mail:e-eigyo@tsukubaseiko.co.jp