自動機搭載用静電チャック
ティンハンド
薄物フィルム等のしわやたるみ、ウェハー、ガラス等への吸着パットの圧痕、多孔質材ワーク等の吸着搬送の問題は、ティンハンドで解決です。
10mm〜3000mmまで、あらゆるサイズに適応可能な接触吸引タイプ自動機搭載用の静電チャックです。
筑波精工独自の静電チャックHPTS技術により、対象物にしわや傷発生をすることなく、対象物の吸着を可能にしています。
対象物の静電帯電で張り付きをおこしていても、上部の1枚のみ吸着できます。また、対象物裏面へのゴミ吸着もありません。
専用コントローラーで制御。外部制御可能です。
導入実績
○ 真空貼り合わせ装置（LCD、タッチパネル、フィルム）用ステージ
○ フィルム 基板 検査ステージ
○ フィルム 箔 搬送用ハンド
● 大面積薄物を全面ソフト支持するため、移動時のしわや傷発生はありません。
● 積層した対象物が、対象物間の静電帯電により張り付きをおこしていても、1枚のみ吸着できます。
● 対象物裏面電位は最小に抑えられ裏面へのゴミ吸着はありません。
吸着対象 |
導体〜半導体〜絶縁体
例：薄型フィルム・銅箔・金箔・ガラス
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印加電圧 |
Max 2.0kV
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把持力（1kV印加時） |
90gf/平方cm（導体）
45gf/平方cm（絶縁体）
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動作環境 |
結露無きこと
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電 源 |
AC100～240V
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E-mail:e-eigyo@tsukubaseiko.co.jp