点接触ウェハーハンド
そりウェハーの搬送にお困りなら、筑波精工のウェハーハンドが最適です。
クーロン力にて、ウェハーを点接触保持する、搬送用ハンドです。
真空環境下でも安定した高速搬送を実現します。
点接触型なので、接触面積を最小限におさえることができます。
導入実績
○ ウェハー、シリコンウェハー、化合物ウェハー 搬送ハンド
● そりウェハーで、真空吸着保持がうまく行かないものも、安定吸着できます。
● 大気〜真空環境での使用が可能です。
● 点接触タイプのため、ワークへの接触面積が最小限にできます。
ウェハーサイズ |
8" & 12"
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構成 |
ハンド本体+専用コントローラー電源
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制御 |
電気制御（専用コントローラー電源）
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動作環境 |
大気〜真空
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吸着力 |
4,000gf（Max）variable
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E-mail:e-eigyo@tsukubaseiko.co.jp