設計開發應用於FPD,最先端半導體製造技術的E-chuckHPTS。

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2011年10月 更新了網頁。

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吸著原理:於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力。
筑波精工的E-chuck HPTS實現了低電壓,強吸附力。
筑波精工應用獨自的電場設計技術進行對FPD,半導體
製造過程中所需的最先端E_chuck的設計與開發。

LinkIcon什麼叫E-chuck製品介紹

E-chuck的使用例

使用例01.psd
玻璃基板的移動

使用例02.psd
半導體晶片的移動

使用例03.psd
各種薄膜,紙的移動

使用例04.psd
基板的搬運

使用例05.psd
DVD的搬運

除上述還可以吸附表面凹凸不平,多空,有透氣性的物體。可以使用在真空環境裡。

製品介紹.jpg什麼叫E-chuck.jpg

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