FPD・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックHPTSの設計開発

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製品概要.jpg

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コードレスホルダー図解.jpg

コードレスホルダーバッテリー駆動)
小型部品、ウェハー、ガラス基板の成膜時やスパッタリング時の固定方法にお困りの方はぜひご相談ください。


成膜装置、インライン設備向けのコードレス静電チャックです。
弊社独自の技術により、対象物にストレスをかけることなく固定が可能で、ステージ及びトレイとしてご使用いただけます。
約3時間の充電で、15時間の使用が可能です。
また、張替えシートの交換で繰り返し使用が可能です。

導入実績

○ 小型部品 成膜装置内 ステージ
○ FPD 硝子基板 成膜装置 ステージ トレイ





製品特徴.jpg

張り替えシートの交換可能.jpg● ワークが吸着面より小さくても、表面シート張替えにより
  繰り返しご使用いただけますのでランニングコストがかかりません。
● 交換用の表面保護シートは、作業者でも容易に交換が可能です。
● コードレスで、15時間以上ご使用いただけます。(充電式)

製品仕様.jpg

構 成
コントローラー内蔵式ホルダー
吸着・離脱・制御
電気制御
吸着形態
コードレス 15時間使用(3時間充電)
動作環境
大気〜真空
吸着対象
導体〜半導体〜絶縁体
保持力
120gf/平方cm(surface direction)
360gf/平方cm(vertical direction)

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