FPD・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックHPTSの設計開発

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特徴、他社との違いイメージ.jpg

静電ちゃっくとは?.jpg

_MG_6783.jpg静電チャックとは、電圧を印加し電極と対象物間に発生したクーロン力によって、吸着するツールです。
吸着方式の違いによって、誘電体として絶縁材料を使用するクーロン力型と、対象物と誘電体との界面の小さなギャップに微少電流が流れ、帯電分極して誘起されるジョンソン・ラベック力型があります。

他社との違い.jpg

HPTS図解.jpg弊社静電チャックHPTSとは?

世界で唯一、オンリーワンテクノロジー:国際特許保有

クーロン力を用いた静電チャックです。
電極に電圧を印加することで、対象物の表面に逆電圧が誘導され、安定した吸着を実現します。

HPTSはクーロン力を用いた静電チャックの中で、最も低電圧で高吸着力を発揮します。
絶縁体でも安定した吸着力を発揮します。
また、対象物裏面には電界は到達しない為、TFT回路等への影響が全くありません。
ハンドリングに有利なコードレス製品もあり、様々な場面で活用できます。

東京大学大学院工学研究科機密機械工学専攻樋口研究室が長年にわたり研究開発した技術成果を、樋口研究室卒業生の傅社長が製品開発し、従来にない吸着保持製品を世に送り出しました。

HPTSのメリット.jpg

1. 対象物全面に対して均一な作用力⇒ 薄物の吸着や搬送に最適
2. 広範囲な対象物:導体~半導体~絶縁体(素ガラス基板吸着出来ます)
3. 対象物裏面には電界は到達しない為、TFT回路等に対する影響が全くありません。
4. バキュームでは吸着が難しい多孔質材(紙、リードフレーム、セラミック、シート、布等)など
 孔の開いたワーク吸着が可能。

5. 対象物へ圧痕や傷、孔の転写などが発生しません。
6. 積層対象物から最上層の一枚のみを吸着⇒ 複数枚同時吸取防止
7. バキュームでは吸着が難しい真空環境下でも安定した吸着力。
8. これまでの静電チャックに比べ、低電圧で強い吸着力を発揮します。

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