FPD・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックHPTSの設計開発

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様々な場所でHPTSが利用されています.jpg

HPTSは様々な設備、生産現場、研究所様に吸着、固定、搬送用ステージ、ハンドとしてご採用いただいております。

液晶パネル 有機EL
タッチパネル 半導体ウェハー
ソーラーウェハー HDD
プリント基板 燃料電池
印刷機など

貼り合せ装置ステージ
蒸着装置用ステージ
露光装置用ステージ
検査装置用ステージ
移載ハンド 印刷機ステージ
塗布装置ステージ
その他各種自動機ハンド及びステージ

ガラス基板 シリコンウェハー
化合物ウェハー 金属箔 フィルム
プリント基板 FPCシート
フィルター 導体フィルム
絶縁体フィルム 紙
セラミックシート

使用例01.psd
ガラス基板

使用例02.psd
半導体ウェハー

使用例03.psd
フィルム 紙等の薄物

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FPC 金属フレーム基板 セラミック

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DVD等

上記以外にも、表面に凸凹のあるものや、多孔質・通気性のあるものも吸着可能です。真空環境下での使用も可能です。

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ティンハンド.jpg
自動機搭載用静電チャック
ティンハンド
自動機搭載用静電チャックです。


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コードレスホルダー.jpg
バッテリー駆動
コードレスホルダー
成膜装置、インライン設備向けコードレスタイプ静電チャック。

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ウェハーサポーター.JPG
コードレスキャリア
ウェハーサポーター
ウェハー、金属箔などの補強板として使用可能です。

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ウェハーハンド拡大図-1.jpg
点接触でストレスを最小限に
ウェハーハンド
真空環境下でも安定した搬送を実現する点接触型ウェハーハンド。

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紙送りベルト.JPG
繰り出し静電ベルト
静電ベルト
紙、紙幣等、厚みや表面状態に依存しない繰り出しが可能です。

コードレスソフトパーム.JPG
ハンディタイプ静電チャック
ソフトパーム
ハンディタイプで自由な作業が可能です。


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