FPD・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックHPTSの設計開発

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ハンディタイプ静電チャック ソフトパーム
薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送にはソフトパームが最適です。

接触吸着タイプのハンディ静電チャックです。電池駆動(充電可)のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがあります。
充電式、電池使用のため、いつでもどこでも使えて便利です。カスタム対応も可能です。
     











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コードレスソフトパーム.JPG
コードレスソフトパーム

ソフトパームコード付き.jpg
セミコードレスソフトパーム(専用コントローラ)

製品特徴.jpg

● 接触面全面に均等に支持力を分散するために、従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消しました。
● 凸凹面のある対象物も吸着可能です。
● 電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はありません。
● コードレス、小型で携帯型。

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対象物
導体〜半導体〜絶縁体
印加圧力
コードレスタイプ 電圧可変(0.3、0.5、0.7、0.9、1.0kV)
セミコードレス 電圧可変
把持力
印加電圧:1kV 90gf/平方cm(導体/半導体)
印加電圧:1kV 40gf/平方cm(LCDガラス基板)
電源
コードレスタイプ 充電式/単4乾電池3本
セミコードレス 専用電源(充電式/単葉乾電池3本)
連続使用時間
8時間以上

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