FPD・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックHPTSの設計開発

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製品概要.jpg

ハンド(三層タイプ)デモ機写真 021.jpg

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点接触ウェハーハンド
そりウェハーの搬送にお困りなら、ウェハーハンドが最適です。

クーロン力にてウェハーを点接触保持する搬送用ハンドです。
真空環境下でも安定した高速搬送を実現します。
点接触型なので、接触面積を最小限におさえることができます。

ウェハーハンド図解.jpg

導入実績

○ ウェハー シリコンウェハー 化合物ウェハー 搬送ハンド

製品特徴.jpg

● そりウェハーで真空吸着保持がうまく行かないものも、安定吸着できます。
● 大気〜真空環境での使用が可能です。
● 点接触タイプのため、ワークへの接触面積が最小限にできます。

製品仕様.jpg

ウェハーサイズ
お客様ご要望サイズに合わせて製作いたします
構成
ウェハーハンド本体+専用コントローラー
制御
電気制御(専用コントローラー)
動作環境
大気〜真空
吸着力
4,000gf(Max)variable

製品案内バナー.jpg静電チャックとは.jpg

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