ウェハーハンド｜筑波精工株式会社

ＦＰＤ・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックＨＰＴＳの設計開発

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ハンド（三層タイプ）デモ機写真 021.jpg

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点接触ウェハーハンド
そりウェハーの搬送にお困りなら、ウェハーハンドが最適です。

クーロン力にてウェハーを点接触保持する搬送用ハンドです。
真空環境下でも安定した高速搬送を実現します。
点接触型なので、接触面積を最小限におさえることができます。

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○ ウェハー　シリコンウェハー　化合物ウェハー　搬送ハンド

● そりウェハーで真空吸着保持がうまく行かないものも、安定吸着できます。
● 大気〜真空環境での使用が可能です。
● 点接触タイプのため、ワークへの接触面積が最小限にできます。