FPD・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックHPTSの設計開発

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ウェハーサポーターイメージ.jpg

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薄型ウェハー用 ウェハーサポーター
薄型ウェハーの補強、そり強制にお困りの方にオススメです。

薄型ウェハーの補強、固定が電気制御で可能になります。コードレスタイプなので固定したまま様々なプロセスに投入可能です。
メモリ用ウェハー、ソーラー用ウェハー、金属箔、フィルム、ガラス基板などの補強に使用できます。繰り返し使用できますのでランニングコストがかかりません。

導入実績

○ 半導体ウェハー シリコンウェハー 化合物ウェハー 搬送
 プロセス 工程間 移載時補強プレート
○ フィルム 薄物 ガラス基板搬送時補強用プレート
○ スピンコーター ステージ
○ ウェハーインチサイズ変換(6on8、4on6等)

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● 接着剤を使用せず、電気制御のみで薄型ウェハーの補強、固定が可能です。
● コードレスタイプの為、固定した状態で様々なプロセスへの投入が可能です。
● 電気制御の為、ウェハー剥離が容易です。
● インチサイズ変換が可能です。(6on8、4on6等)
   8インチのサポーターを使用する事で8インチのラインに6インチのウェハーを投入する事が可能です。
  (6インチ→4インチも可)
● 厚みが薄い為、ウェハー吸着保持した状態でケース又はカセットに投入可能です。
● 既存の設備をそのまま利用でき、改造が不要です。
● 解除電圧をかけるまで吸着を維持します。
● 研磨後の薄いウェハーもストレスを与える事なく搬送可能です。

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構成
サポーター基板+専用コントローラー
サポーター基板厚み
0.55mm 〜 ご要望サイズ対応
制御
電気制御
吸着形態
コードレス
動作環境
大気〜真空
対象物
導体〜半導体 ~絶縁体
吸着力
導体 120gf/平方cm  絶縁体 30gf/平方cm(弊社標準無アルカリガラス)

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